培训课程表(06月18日 - 06月22日)

课程名称及说明 时间安排 上一周 | 本周 | 下一周 ]
 
06-18
星期一
06-19
星期二
06-20
星期三
06-21
星期四
06-22
星期五
Spincoating & hotplate 匀胶热板 [选修]
介绍匀胶机和热板的基本操作及微纳加工光刻胶的选用和参数,每次培训包含培训与考核共1次课程。
上午
 
 
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培训+考核 
 裙楼大厅
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RIE 反应离子刻蚀 [选修]
推荐预修紫外光刻培训,介绍干法刻蚀原理及中心RIE设备的刻蚀功能。每次培训共2次课程。
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培训 
 裙楼大厅
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考核 
 裙楼大厅
ellipsometer 椭偏仪 [选修]
介绍椭偏仪的原理及使用,每次培训共2次课程。
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培训 
 裙楼大厅
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考核 
 裙楼大厅
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Optical Aligner 紫外光刻 [选修]
须预修匀胶热板培训,介绍光刻工艺相关基础知识,掌握光刻工艺基本流程,学会使用中心SUSS MA6设备进行正面对准及曝光。每次培训包含2次课程。 因背面对准的用户需求较少,不包含在设备通用培训中,用户可根据实验需求深入进行背面对准及曝光培训
上午
 
 
下午
 
 
上午
培训 
 裙楼大厅
下午
实践+考核 
 裙楼大厅
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上午
 
 
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