培训课程表(11月20日 - 11月24日)

课程名称及说明 时间安排 上一周 | 本周 | 下一周 ]
 
11-20
星期一
11-21
星期二
11-22
星期三
11-23
星期四
11-24
星期五
RIE 反应离子刻蚀 [选修]
推荐预修紫外光刻培训,介绍干法刻蚀原理及中心RIE设备的刻蚀功能。每次培训共2次课程。
上午
 
 
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上午
 
 
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上午
 
 
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上午
培训 
 裙楼大厅
下午
考核 
 裙楼大厅
上午
 
 
下午
 
 
EBL电子束光刻基础 [选修]
须预修匀胶热板培训,介绍电子束光刻原理及中心JEOL6300设备的Mask曝光功能。每次培训共6次课程。
上午
 
 
下午
 
 
上午
理论培训 
 905会议室
下午
培训 
 裙楼大厅
上午
培训+理论考核 
 裙楼大厅
下午
实践 
 裙楼大厅
上午
实践 
 裙楼大厅
下午
考核 
 裙楼大厅
上午
 
 
下午
 
 
hand-dicing 金刚刀划片机 [选修]
介绍手动划片机的基本使用操作
上午
 
 
下午
培训+考核 
 裙楼大厅
上午
 
 
下午
 
 
上午
 
 
下午
 
 
上午
 
 
下午
 
 
上午
 
 
下午
 
 
Filmthickness-反射式光谱膜厚仪 [选修]
介绍膜厚仪的原理及自动测量模块的使用,每次培训包含2次课程。
上午
 
 
下午
 
 
上午
培训 
 裙楼大厅
下午
考核 
 裙楼大厅
上午
 
 
下午
 
 
上午
 
 
下午
 
 
上午
 
 
下午
 
 
FIB [选修]
每次培训需要2周时间,共8次课程,仅在第一周课程前进行选课。 介绍FIB原理及中心FIB设备Ion Beam milling及GIS辅助沉积(主要为Pt沉积)等加工功能,主要应用于微小结构(百微米以下)加工,如光栅、Bow-ti阵列等。
上午
 
 
下午
 
 
上午
实践 
 主楼大厅
下午
实践 
 主楼大厅
上午
实践 
 主楼大厅
下午
实践考核 
 主楼大厅
上午
 
 
下午
 
 
上午
 
 
下午
 
 
Ebeam 电子束蒸发镀膜 [选修]
介绍蒸发镀膜原理及中心Lesker设备硬件及操作,每次培训包含2次课程。
上午
 
 
下午
 
 
上午
 
 
下午
 
 
上午
培训 
 裙楼大厅
下午
考核 
 裙楼大厅
上午
 
 
下午
 
 
上午
 
 
下午