超净间概况

    采用“Bay-and-Chase”式洁净室结构,采用垂直式层流换气系统,可有效控制洁净度;配备专业的水处理系统,供应18.2MΩ超纯水;提供SiH4、NH3等22种特种气体供给及检测,可有效保障工艺及安全。中心配备柴发及UPS保障电力供给,配备专业的尾气及废液处理系统,保障洁净室排放达标。

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