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微纳研究与制造中心

中心简介:

        微纳研究与制造中心是中国科学技术大学”十二五”规划重点建设工程之一,是秉承我校“集中投入、统一管理、开放公用、资源共享”宗旨的第六个公共实验中心,是我校开展和促进纳米科技及其交叉研究的重要创新平台,是我校建设世界一流研究型大学的重要举措。中心自2010年通过建设规划,2012年5月开工建设,2013年12月主体建设竣工。中心于2014年3月正式揭牌成立投入试运行。

        微纳研究与制造中心的建设旨在促进基于纳米科学及纳米工程的能源、信息、材料、医疗、环境等领域多学科交叉研究的发展,通过持续建设,逐步建立起条件优良、功能配套、管理规范、先进高效的优质资源公用系统和共享机制,建设适应于当前及未来纳米科学及纳米工程领域研究发展所需要的基础支撑体系,成为具有国际先进水平的、面向国内外开放的高水平微纳米科学研究和制造的公共技术平台。


目标与使命:

     微纳研究与制造中心作为我校第六个公共实验中心,将有力支撑我校各学科专业的微纳制造与研究,强力推进学科交叉与创新,持续保障我校更好地承担和完成各类国家重大任务。

       微纳研究与制造中心更是一个面向国内外开放的研究与技术支撑平台,服务对象立足合肥,面向全国,远瞻国际。


特色与运行:

       微纳研究与制造中心是集微米、纳米加工、制造和检测手段于一体,能够承载前沿、交叉学科领域创新研究和先进制造的支撑平台。

      中心由占地1000m2的微纳净化实验室和200m2的微纳表征实验室组成,并具备配套、安全的厂务设施保障。中心拥有百级洁净间(ISO Class 5)500m2,并具有灵活的净化等级升级空间。中心已投入7000余万元采购国内外先进微纳加工、制造与表征装备40余台套。中心还将追踪微纳米加工与制造技术的最新进展,不断探索和开发微纳加工、检测、制造及装备的新技术和新方法。

      中心采取用户委员会机制并通过高效的网络化实时监控和管理体系,提高设备的利用率,增强中心的开放服务能力;通过开展面向国内外不同层次和形式的学术交流、技术研讨及人员培训活动,积极推进中心的开放性建设,使中心不仅成为科研创新、学术交流和人才培养的中心,也成为连接科研与企业的枢纽,成为技术革新和成果转化的催化剂。



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超净间概况


        微纳研究与制造中心净化实验室总建筑面积3664m2,主体结构为二层,一层为洁净室,二层为辅助层(机械泵房、空调机房等);采用“Bay-and-Chase”式洁净室结构,为中心设备提供高效、安全的水电气供给及检测;洁净室采用垂直式层流换气系统,可有效控制洁净度;洁净室备专业的水处理系统,可提供18.2MΩ超纯水;中心提供SiH4、NH3等22种特种气体供给及检测,液氮站集中供给5N(普氮)及7~9N高纯氮,可有效保障工艺及安全。中心配备柴发及UPS保障电力供给,配备专业的尾气及废液处理系统,保障洁净室排放达标。 中心设有24h实时参数监控,保证中心安全运行。

        洁净度Class 5: 450m2;Class 6: 450m2

        振动:  微震等级 (NIST-A级) 

        温度: 22℃±0.5℃      @ IOS Class5

                   22℃±1℃        @  IOS Class6

                   22℃±0.1℃      @ EBL room

                   22℃±0.28℃    @ 掩膜制版间

        湿度: 45%±5%       @ IOS Class 5,

                   45%±10%     @ IOS Class 6;

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洁净室配套厂务设施
                           液氮站                            冷却塔
                               冷却水  

                           特气房

                           新风机组                           纯水站
                 压缩空气CDA                              灰区

酸排、有机排风



 

   

 


 


 


洁净室建筑平面图详细阅读>>
洁净室建筑平面图

进出洁净室基本路线


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地理位置

 

微纳研究与制造中心坐落于中国科学技术大学西区,位于特种实验楼群楼

地址:安徽省合肥市黄山路443号