【微纳加工技术讲座】电子束曝光技术及其应用
2017-04-19 19:08:49    点击:

 

       微纳加工技术讲座主要邀请国内外知名企业及微纳加工领域的同行分享行业内的最新技术进展,分享成功技术案例,建立技术服务与用户之间的沟通桥梁,提升我校的微纳加工整体水平。

 

本期邀请报告以微纳加工领域中电子束曝光技术为主题,围绕其基本原理、工艺流程以及电子束曝光光刻胶的特征等开展,分享电子束曝光技术的应用案例。

报告题目:电子束曝光技术及其应用
报告人: 田悦 项目经理   Raith China Co.,Ltd
报告时间:4月21日下午4:00
报告地点:西区特种实验楼2楼学术报告厅
欢迎感兴趣的师生前来参加!