校内用户培训收费标准
2016-04-13 11:33:12    点击:

中国科学技术大学微纳研究与制造中心

校内用户培训收费标准(试行)

一、      收费说明:

为优化培训资源配置,鼓励用户高效利用中心资源,中心自2015年3月4日起对校内用户培训进行收费,中心收取的培训费用将视用户的使用情况及科研产出按照后续配套优惠政策予以返还。请用户根据实验需求合理选择培训课程。

二、      收费标准:

1、安全培训等中心规定的用户必修课程不收取培训费。

2、选修设备培训费按类别收取,并适用选课系统的预修规则

编号

设备类别

包含设备

收费标准(元/人)

1

光刻

匀胶热板、紫外光刻、纳米压印、去胶机等

1000

2

镀膜

溅射镀膜、电子束蒸发、PECVD、RTP、LPCVD等

1000

3

刻蚀

RIE、ICP、蒸发HF刻蚀、金属刻蚀、湿法刻蚀等

1000

4

表征封装

台阶仪、膜厚仪、椭偏仪、AFM、冷场电镜、能谱、SEM、SNOM、

晶圆键合、引线键合、手动划片机等

1000

5

EBL

EBL

2500

6

FIB

FIB

2500

3、培训按照设备类别进行收费,选择该类别中的多台设备不额外收取培训费,但因多次培训未通过或培训结果失效后导致的重修费用不包含在内。

4、收费方式参照校财字[2015]6号文件《中国科学技术大学公共实验中心收费管理办法(试行)》及其收费细则执行,用户参加选课视为认同中心的培训缴费标准,逾期未缴者中心将取消其选课权限。

微纳研究与制造中心  

2015.03.04