微纳加工技术讲座主要邀请国内外知名企业及微纳加工领域的同行分享行业内的最新技术进展，分享成功技术案例，建立技术服务与用户之间的沟通桥梁，提升我校的微纳加工整体水平。
报告时间：11月22日（周三）下午2：00
报告地点：西区特种实验楼2楼报告厅
本期报告为牛津仪器刻蚀、能谱及AFM分析检测专场，邀请牛津仪器资深技术专家为广大师生带来三场主题报告：
报告一：先进等离子体刻蚀技术及离子束沉积与蚀刻简介
摘要：在微纳加工中，离子束刻蚀无沾污、无钻蚀，具有极高的刻蚀分辨率，刻蚀图形的台阶倾角可以控制，这是反应溅射刻蚀和等离子体刻蚀无法做到的；离子束沉积具有沉积薄膜种类广泛、孔隙率低、薄膜成分精确可控、成膜表面超光滑等优点。报告将介绍最新开发的等离子体刻蚀技术及离子束刻蚀/沉积设备相关最新工艺。
报告二：纳米分析技术的最新技术和应用
摘要：传统元素分布的探测在寻找区域时需要电镜、能谱不停交换控制以寻找最理想区域，这样不仅耗时耗力而且对某些样品也会产生不可逆转的损伤。报告将介绍在移动样品过程中实时显示元素面分布、记录移动路径的新技术，大大拓展能谱在元素分析的范畴及时效性；同时介绍在此基础上如何提高不导电样品、纳米颗粒、轻元素的表征能力及准确性以及基于CMOS的Symmetry在EBSD方面的应用如何实现速度及灵敏性的兼得。
报告三：视频级原子力显微镜的最新应用
摘要：纳米尺度上的原位动力学过程观测一直是科学家们的梦想。视频级扫描速度的原子力显微镜的出现使得科学家们能够梦想成真。牛津仪器最新的视频级原子力显微镜-Cypher VRS突破了传统原子力显微镜技术的限制，在保持亚纳米级的超高分辨率的基础上，将扫描速度提高了两个数量级：最快仅需要0.1S即可完成一次扫描。报告中将介绍利用VRS研究分子动力学过程以及自组装的应用，并探讨视频级快速扫描AFM在研究中的潜在应用。
