微纳研究与制造中心

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中心动态

08-02

2023

炎炎夏日高温难阻交流热情，微纳中心迎来参观来访热潮

暑期伊始，校园已初见宁静，树上的虫鸣鸟叫诉说着夏日三伏天的燥热，却也丝毫不减大家对微纳中心的参观热情，7月中心迎来一波又一波参观队伍到中心交流。7月21日上午，SAWATEC大中华区总裁、瑞士SME-Ventus GmbH高级合伙人宋春玲女士到微纳中心参观交流。在中心副主任周成刚带领下，宋春玲女士围绕参观走廊了解中心发展历程及运营模式，随后依次序参观中心设备。参观过程中，宋春玲女士简单分享自己从大学老师进入制造业成为创业者的经历，与同行参观的老师交流仪器设备的使用感受，她提出国内半导体行业的发展空间大有可为，希望能与相关领域间的企事业单位加强交流合作，共同为提升国内半导体行业在国际上的影响而努力奋斗。下午，中心迎来另一批参观队伍。参加中国科学技术大学微电子学院夏令营的105名同学分五批走进微纳中心，带队解说的汪林俊老师向同学们介绍了实验室整体环境、动力条件、设备布局、工艺分组等情况。随后，同学们通过参观走廊近距离了解先进的微纳加工设备与制造工艺，同学们纷纷感慨洁净室的明亮干净以及微纳加工设备所能实现的先进功能。大到光刻机、镀膜机、刻蚀机，小到匀胶机、热板、显微镜等，同学们看的入
07-24

2023

微纳教工支部赴档案文博院开展师德师风专题主题党日活动

为深入学习贯彻习近平新时代中国特色社会主义思想主题教育，领悟习总书记在中共中央政治局关于建设教育强国第五次集体学习时的讲话精神，提高广大党员同志师德师风学习热情，更好的传承和弘扬抗大精神、“两弹一星”精神和老一辈科学家精神，激发大家的责任感和使命感，7月19日，微纳教工党支部组织各位党员及群众代表赴档案文博院开展主题党日党群联合活动。下午4点，大家准时在校史馆门前集合签到，随后在讲解员的带领下参观“红专并进科教报国——中国科学院党员主题教育基地”。教育基地共有“国运所系”“大师云集”“春风化雨”“气象峥嵘”“南迁重建”“敢为人先”“开泰布新”“创建一流”“东风永恒”“勇攀高峰”十个主展厅，“少年班”“师长厅”“校友厅”三个专题展，以及国家同步辐射实验室“追光”特别展厅和实物展厅。聆听着讲解员的介绍，看着泛黄的老照片及老物件，大家仿佛与科大一起置身于时代的洪流中，从成立时期的艰难困苦，到科学家齐聚一堂的兴校伟绩，从南迁的动荡不安，到永无止境、满怀激情的攻坚克难，一代又一代的科大人，用自己坚定不移的爱国热情及追求卓越的思想境界，铸就了科大独特的红色精神谱系。参与本次活动的老师，无不为老一辈
06-14

2023

走进合肥高校行—宁夏中卫市领导一行走进微纳中心

2023年6月14日上午，宁夏中卫市人大常委会副主任田风才、中卫市政协副主席冯忠铁、中卫市商务局局长冯旭等一行莅临微纳中心参观调研。中国科学技术大学微纳中心副主任周成刚、中国科学技术大学微纳中心主任助理汪林俊陪同参观调研并举行座谈会。周成刚首先代表中心对调研组一行的到来表示欢迎，然后带调研组参观微纳中心一楼洁净室。在参观走廊内，调研组一行了解了中心现有仪器设备的基本情况，“沉浸式”观看了洁净室内科研人员正在操作的工艺工序，参观结束后双方举行了座谈会。会上，周成刚简要介绍了中心运行机制、中心人员构成以及支撑服务校内外用户等情况。调研组也以宣传片的方式介绍了中卫市目前的发展情况及未来在相关领域的发展潜力。周成刚表示宁夏中卫市企业宏芯信息科技（宁夏）有限公司作为中心的用户之一，在研发合作过程中双方都积极沟通，共同努力，合作十分愉快。中心欢迎中卫市更多的相关领域企事业单位与我们开展长足性的合作，中心愿意为中卫市相关领域的发展提供完善的支撑服务。
05-31

2023

二次离子质谱试运行通知

中国科学技术大学微纳研究与制造中心的二次离子质谱目前已安装调试完毕，现投入试运行。此台IMS-7F Auto型动态二次离子质谱是法国CAMECA公司的经典产品，主要用于真空兼容性的固体平面样品的元素分析，其氧源和铯源可以实现全元素的测量，冲击能可达15 keV，质量分辨率可高达20000，具有优越的元素检出限，具备同位素检测功能。配备的电子枪和液氮捕集器可以实现绝缘样品的测量与大气元素的测量。设备主要功能1．深度分析一次束在一个微区内均匀扫描,把样品表面均匀地层层剥离,随着扫描时间的增加,溅射坑越来越深。探测特定元素二次离子产额随溅射时间的变化曲线,可以得到该元素在样品中的深度分布。2．离子图像采用聚焦一次离子束扫描样品表面，获得某种元素在样品微区中的分布图形，可实现亚微米解析度。图像中不同的浓度用不同颜色表示,非常直观。部分样品测试数据硅中注入砷的深度分析硅中注入氢的深度分析SiO2/Si的深度分析SiTa网格的离子图像主要应用掺杂和杂质深度剖析、薄膜的组分测量、离子注入深度分析、轻质元素分析、器件失效分析等。送样要求用户需提供信息：样品基体材料、样品尺寸、待测元素、样品制备
09-01

2021

中心开展实验室安全自纠自查工作

为确保常态化新冠肺炎疫情防控下实验室的安全、有序运行，微纳研究与制造中心（以下简称“中心”）开启安全

科研产出

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