微纳研究与制造中心

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中心动态

05-31

2023

二次离子质谱试运行通知

中国科学技术大学微纳研究与制造中心的二次离子质谱目前已安装调试完毕，现投入试运行。此台IMS-7F Auto型动态二次离子质谱是法国CAMECA公司的经典产品，主要用于真空兼容性的固体平面样品的元素分析，其氧源和铯源可以实现全元素的测量，冲击能可达15 keV，质量分辨率可高达20000，具有优越的元素检出限，具备同位素检测功能。配备的电子枪和液氮捕集器可以实现绝缘样品的测量与大气元素的测量。设备主要功能1．深度分析一次束在一个微区内均匀扫描,把样品表面均匀地层层剥离,随着扫描时间的增加,溅射坑越来越深。探测特定元素二次离子产额随溅射时间的变化曲线,可以得到该元素在样品中的深度分布。2．离子图像采用聚焦一次离子束扫描样品表面，获得某种元素在样品微区中的分布图形，可实现亚微米解析度。图像中不同的浓度用不同颜色表示,非常直观。部分样品测试数据硅中注入砷的深度分析硅中注入氢的深度分析SiO2/Si的深度分析SiTa网格的离子图像主要应用掺杂和杂质深度剖析、薄膜的组分测量、离子注入深度分析、轻质元素分析、器件失效分析等。送样要求用户需提供信息：样品基体材料、样品尺寸、待测元素、样品制备
09-01

2021

中心开展实验室安全自纠自查工作

为确保常态化新冠肺炎疫情防控下实验室的安全、有序运行，微纳研究与制造中心（以下简称“中心”）开启安全
04-29

2021

中心开展紧急事故逃生演习

为了加强广大用户规范操作危险化学品意识，帮助用户全面了解洁净室紧急事故逃生路线，提升中心紧急事故处理
01-27

2021

微纳研究与制造中心召开2020年终总结会

2021年1月25日，微纳研究与制造中心组织召开了2020年度工作总结会
12-31

2020

微纳研究与制造中心2020年用户大会顺利召开

2020年12月29日下午，微纳研究与制造中心2020年用户大会在西校区学生活动中心二楼学术报告厅召

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