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周成刚
邮箱:cgzhou@ustc.edu.cn
房间:903
电话:0551-63607217
中心副主任
岗位职责:全面负责中心工作。
仪器管理:
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汪林俊
邮箱:wanglj@ustc.edu.cn
房间:907
电话:0551-63607807
高级工程师、主任助理
岗位职责:协助微纳研究与制造中心工艺工程师团队管理
仪器管理:
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李伟
邮箱:lwei1208@ustc.edu.cn
房间:909
电话:63606361-8023
工程师、封测组组长
岗位职责:总体负责封测组设备和工艺
仪器管理:聚焦离子束、氦离子显微镜、X-RAY显微镜、SNOM显微镜、冷场扫描电镜、原子力显微镜、探针测试系统、晶圆划片机、引线键合等
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李亚萍
邮箱:liyaping@ustc.edu.cn
房间:908
电话:63606361-8030
工程师、封测组
岗位职责:
仪器管理:辅助负责封测组仪器管理
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唐驰
邮箱:tangchi@ustc.edu.cn
房间:908
电话:63606361-8029
工程师、封测组
岗位职责:
仪器管理:辅助负责封测组仪器管理
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张子璕
邮箱:zixun@ustc.edu.cn
房间:909
电话:
工程师、封测组
岗位职责:
仪器管理:辅助负责封测组仪器管理
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刘海涛
邮箱:htliu@ustc.edu.cn
房间:908
电话:63606361-8024
助理工程师、封测组
岗位职责:
仪器管理:辅助负责封测组仪器管理
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刘文
邮箱:liuwen@ustc.edu.cn
房间:908
电话:63606372-8012
工程师、光刻组组长
岗位职责:总体负责光刻组设备和工艺,主要包括日常维护、保养以及新工艺开发;样品代加工服务,支撑用户科研工作;新设备调研采购以及安装验收。
仪器管理:电子束光刻机、紫外光刻机、分步投影光刻机、无掩膜光刻机、匀胶热板等
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李文娟
邮箱:wjli@ustc.edu.cn
房间:909
电话:63606372-8011
工程师、光刻组
岗位职责:负责光刻组设备维护,用户代工及工艺开发等。
仪器管理:辅助负责光刻组仪器管理
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叶阳
邮箱:yy1989@ustc.edu.cn
房间:909
电话:63606372-8032
工程师、光刻组
岗位职责:负责光刻组设备维护,用户代工及工艺开发等。
仪器管理:辅助负责光刻组仪器管理
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彭芳芳
邮箱:ffpeng@ustc.edu.cn
房间:908
电话:63606361-8025
工程师、光刻组
岗位职责:负责光刻组设备维护,用户代工及工艺开发等。
仪器管理:辅助负责光刻组仪器管理
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吴春晓
邮箱:wx7@ustc.edu.cn
房间:909
电话:
工程师、光刻组
岗位职责:负责光刻组设备维护,用户代工及工艺开发等。
仪器管理:辅助负责光刻组仪器管理
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吴硕
邮箱:swu@ustc.edu.cn
房间:908
电话:
助理工程师、厂务安全、光刻组
岗位职责:负责光刻组设备维护,用户代工及工艺开发等。负责值班室值班,厂务系统巡检工作,汇报处理厂务故障。
仪器管理:辅助负责光刻组仪器管理
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魏钰
邮箱:weiyu558@ustc.edu.cn
房间:909
电话:63606372-8021
工程师、镀膜组组长
岗位职责:总体负责镀膜组设备和工艺
仪器管理:磁控溅射镀膜、电子束蒸发镀膜、原子层沉积、化学气相沉积、离子注入、椭偏仪等
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彭金兰
邮箱:jinlanp@ustc.edu.cn
房间:909
电话:63606372-8013
工程师、镀膜组
岗位职责:
仪器管理:辅助负责镀膜组仪器管理
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何逸昭
邮箱:yzhe0723@ustc.edu.cn
房间:908
电话:63606361-8027
助理工程师、镀膜组
岗位职责:
仪器管理:辅助负责镀膜组仪器管理
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徐坤
邮箱:xu1102@ustc.edu.cn
房间:908
电话:63606361-8019
助理工程师、厂务安全、镀膜组
岗位职责:负责值班室值班,厂务系统巡检工作,汇报处理厂务故障。镀膜组代工、设备维护、用户培训
仪器管理:辅助负责镀膜组仪器管理
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马骏
邮箱:maj@ustc.edu.cn
房间:908
电话:63606361-8039
助理工程师、镀膜组
岗位职责:
仪器管理:辅助负责镀膜组仪器管理
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王秀霞
邮箱:wxiuxia@ustc.edu.cn
房间:909
电话:63606372-8007
工程师、刻蚀组组长
岗位职责:总体负责刻蚀组设备和工艺
仪器管理:ICP、RIE、HF刻蚀、台阶仪、湿法刻蚀、湿法清洗、去胶机等
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陈琳
邮箱:chenlina@ustc.edu.cn
房间:909
电话:63606372-8031
工程师、刻蚀组
岗位职责:
仪器管理:I辅助负责刻蚀组仪器管理
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