各位用户：
微纳研究与制造中心将利用学校寒假期间进行工艺设备维修保养以及动力支撑设备年度维护，计划于1月26日开始停止加工及测试服务，2月24日-2月25日进行设备调试（用户可自己进入洁净室加工，代工尚未恢复），2月26日正式进行运行开放。如有特殊情况，请提前联系nanofab@ustc.edu.cn
微纳研究与制造中心
2018年1月23日
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微纳研究与制造中心将利用学校寒假期间进行工艺设备维修保养以及动力支撑设备年度维护，计划于1月26日开始停止加工及测试服务，2月24日-2月25日进行设备调试（用户可自己进入洁净室加工，代工尚未恢复），2月26日正式进行运行开放。如有特殊情况，请提前联系nanofab@ustc.edu.cn
微纳研究与制造中心
2018年1月23日