各位用户：
本周六8:00-14:00，因coral系统维护，请用户在值班室登记使用机时。由于设备互锁，在维护期间内，EBL、FIB、AFM、ICP180、ICP380、RIE、椭偏仪、台阶仪、ALD、SNOM设备暂停使用，请用户提前安排实验时间。如有特殊情况，请联系nanofab邮箱。
微纳研究与制造中心
2018/5/9
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2018/5/9