无掩模光刻暂停使用

Author:系统管理员Date:2018-06-06Views:2

各位用户:

        无掩模光刻设备因硬件故障,期间暂停用户使用,预计一周内可恢复。设备恢复将提前通知。

        以上信息请相互转告,为此带来不便敬请谅解!

                                                                                微纳研究与制造中心

                                                                                            2018.6.6