各位用户：
应部分用户推荐申请，中心新采购了LPCVD设备，型号为Tystar mini-tytan 3600，可用于退火、N型扩散掺杂，多晶硅和氧化硅沉积，具体仪器参数和功能介绍见附件材料。现已开放代工服务，欢迎广大用户申请使用。
微纳研究与制造中心
2018年9月4日
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微纳研究与制造中心
2018年9月4日
