各位用户：
为进一步提高工艺能力，中心新采购了步进投影式光刻机（Stepper），型号为Nikon NSR2005i10C（coral简称i10）。该设备通过投影成像方式，把掩模版上图形以高分辨率、高精度、高效率的方式分步重复曝光在涂有胶层的硅片表面。主要用于各种微纳米结构的图形转移。现已开放代工服务，欢迎广大用户申请使用。
微纳研究与制造中心
2019年3月6日
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为进一步提高工艺能力，中心新采购了步进投影式光刻机（Stepper），型号为Nikon NSR2005i10C（coral简称i10）。该设备通过投影成像方式，把掩模版上图形以高分辨率、高精度、高效率的方式分步重复曝光在涂有胶层的硅片表面。主要用于各种微纳米结构的图形转移。现已开放代工服务，欢迎广大用户申请使用。
微纳研究与制造中心
2019年3月6日