电子束光刻设备定期维护通知

中心将于5月6日8点~5月14日24点期间更换电子束光刻设备（JEOL，6300FS）的电子枪。根据安排，在此期间该设备无法接受预约使用，预计5月14日24点开始恢复开放，如有变化，另行通知，请各位用户安排好实验计划。如给您带去了不便，敬请见谅。

2019年4月30日

微纳研究与制造中心