Author：系统管理员Date：2019-05-10Views：3
中心电子束光刻机（JEOL，6300FS）已更换好电子枪，拟定于5月13日上午8点正常开放，顺延换电子枪前的模式6，5月17号下午3点切换模式3。请各位用户根据需求安排实验计划。
微纳研究与制造中心
2019年5月10日
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