电子束光刻设备定期维护通知

Author：系统管理员Date：2019-10-09Views：3

中心将于10月14日上午9点~10月21日上午9点期间更换电子束光刻设备（JEOL，6300FS）的电子枪。根据安排，在此期间该设备无法接受预约使用，预计10月21日上午9点开始恢复开放，开放后将持续一周模式3，如有变化，另行通知，请各位用户安排好实验计划。如给您带去了不便，敬请见谅。

2019年10月09日

微纳研究与制造中心