品牌型号： Raith，Pioneer two
主要功能：电子束光刻技术是利用纳米电子束斑在光刻胶上扫描，改变光刻胶的显影特性，可获得纳米级分辨率的图形结构。
技术指标：
套刻精度： 在高精度模式下小于±20nm
拼接精度： 在高精度模式下小于±20nm
束流： 最大至20nA
束斑： 20kV下小于1.6nm
扫描时钟频率： 6 MHZ
最大样品： 20mm×20mm
最大加速电压： 30kv
写场尺寸： 最大1000μm×1000μm