主要功能：
本设备可以实现微米和纳米尺度图形结构的复制加工，采用单面气压方式，有力保证了压印的均匀性，减少碎片的发生。中间聚合物转印（IPS）则可以最大程度保护原始模具，延长使用寿命。
技术指标：
最高温度： 200℃
最大压力： 70 Bar
LED UV波长/光强：
365±10 nm/35~45mW/cm2
样品尺寸： 最大6英寸
衬底/模板厚度： 最大2mm
对准精度： ±1μm
残胶厚度： <20 nm