主要功能：
本设备可以进行低剂量和低能量的注入，在金刚石单晶衬底的浅表层注入离散的氮元素，借助退火工艺，可以制备NV色心，这在量子计算、量子传感等研究中具有重要的应用。
技术指标：
最高离子能能量： 100keV
最低离子能量： 2keV
最低束流： 1E9 atoms/cm2
最大样品尺寸： 6 英寸
注入元素： 气体元素和金属元素
样品台移动和定位精度： ±10μm
真空度： 4×10-4Pa