主要功能：
采用高功率灯管加热技术，实现样品表面的快速和可控升温工艺。设备的工艺重复性高，均匀性好，主要用于离子注入退火等工艺。
技术指标：
最高温度： 1000℃（热电偶）
典型的升温速率： 50℃/s
样品尺寸： 最大8英寸
控温方式： 铂铑热电偶和光学高温计
气压模式： 常压模式和真空模式