中文名:微焦点膜厚仪
英文名:Microfocus film thickness meter
所属机组:镀膜组
仪器型号:F40-UVSS-Microscope-UVX-1
房间:一楼洁净间
负责人:魏钰


主要功能
手动找点,通过对待测膜层的上下界面间反
射光谱的分析,可以测量出结果。
它可以通过C-mount连接附件,与显微镜连
接使用,从而让用户清晰的看到样品和测量位置。
当测量需要在待测样品表面的某些微笑限定
区域进行时,又或者是其他应用要求光斑小至
1um时,可使用先前足部校准显微镜物镜再测
量,可获得更精准的厚度和光学参数值。
主要用于半导体制造、生物医学原件、微电
子方面、液晶显示器等区域。
技术指标
测量厚度范围: 4nm~100um
测量n/k值的最小厚度: 50nm
波长范围: 190-1700nm
准确度: 大于0.2%或者1nm
精度: 0.02nm