主要功能：
Ar离子在电场作用下加速飞向阴极靶，并以高能量轰击靶表面，使靶材发生溅射。在溅射粒子中，中性的靶原子或分子沉积在基片上形成薄膜。主要应用于光学膜、各种功能性薄膜——高温超导薄膜、铁电体薄膜、巨磁阻薄膜、薄膜发光材料、太阳能电池、记忆合金薄膜。
技术指标：
靶枪： TORUS○ Mag Keeper
3"靶枪
晶片尺寸： 最大 6 英寸
真空度： 5E-7 Torr
靶材： AlN、Ti、TiNi等
典型沉积速率： 0.1A~3A/s
镀膜均匀性： ±5%（within 6 inch）