主要功能：
阵列式光学探测器实现快速测量2ms-1s /site按照线性，极坐标，正交坐标和自定义模式定义测量位置最大可测量5层薄膜。
技术指标：
测量厚度范围： 对特定的介电质
50nm到50μm
测量精度： 对特定的材料小于厚
度的1%
样品尺寸： 最大8英寸
样品厚度： 最大2cm
定位精度： ~1μm