品牌型号： Karl Suss，SB6e
主要功能：
利用力、热、电的作用将两片或多片晶圆键合在一起。
技术指标：
可键合种类： 阳极键合、共晶键合、热压键合等
最高温度： 500℃
最大键合力： 20kN
最大电压： 2kV
最大电流： 15mA
样 品 尺 寸 ： 6 i n c h 、
4inch&pieces