中文名:激光超精密加工系统
英文名:Laser ultra-precision processing system
所属机组:设备组
仪器型号:UP-D
房间:二楼激光加工
负责人:周典法


品牌型号德龙激光,UP-D
主要功能
激光超精密加工系统是通过超短脉冲激光的刻蚀作用,对材料进行打孔、切削、刻蚀等各种异型微细加工的设备。具有加工速度快、加工精度高、材料范围广、对材料损害小等特点。
技术指标
加工幅面:250mm*250mm

钻孔最小孔径: 50μm

刻蚀最小线宽:30μm
激光器,中心波长515 nm

功率:≥30W
工作台重复精度: ≤±2μm

定位精度:≤±3μm