品牌型号：SUSS Lab spin6、RC-200、SUSS Delta HP8、CEE10 、PHP-8

主要功能：

匀胶机：通过精确的机械旋转和可控的程式，实现均匀涂胶。手动或自动涂胶等两种模式可供选择。

热板：通过电加热方式，提供可控烘烤间距，实现均匀加热。提供氮气气氛，减少烘烤过程中污染。

技术指标：

·SUSS Lab spin6

样品尺寸：2”，3 ” ，4 ” ，6 ”及不规则碎片

最大转速：8,000rpm

厚度均匀性：2% (Resist AZ5214E, 1 μm)

·CEE200X

样品尺寸：2”，3 ” ，4 ” ，6 ”及不规则碎片

最大转速：12,000rpm

厚度均匀性：2% (Resist AZ5214E, 1 μm)

·SUSS Delta HP8

样品尺寸：2”，3 ” ，4 ” ，6 ”及不规则碎片温度范围：60 °C - 250 °C

·CEE10

样品尺寸：最大12”以及不规则碎片温度范围：50 °C - 300 °C

·CEE1300X

样品尺寸：2”，3 ” ，4 ” ，6 ”及不规则碎片温度范围：50 °C - 300 °C

免审核工艺：

1.基本要求：

兼容洁净室环境；禁止以下任何样品：含有粉尘、挥发性物质、腐蚀性化学品、生物活性、油污性。

2.样品要求：

匀胶机：6寸及以下标准尺寸和不规则小尺寸样品，背面光滑，厚度不能超过3mm。

热板：12寸及以下