主要功能：

通过无水乙醇的催化作用，气态的HF与二氧化硅反应生成可挥发的SiF4和气态Water，并通过真空抽走，整个反应过程不生成液态水，避免了液体对悬空微纳结构的粘连。主要用于悬臂梁以及其他悬空微纳米结构的释放。

技术指标：

刻蚀速率：100/min—1000/min

HF气体流量：0-500 SCCM

无水乙醇气体流量：0-250 SCCM

工艺氮气流量：0-2000 SCCM

刻蚀均匀性：<12%