主要功能：
测量台阶高度和样品表面形貌。
技术指标：
扫描长度：50μm-55mm，拼接可达200mm
垂直测量范围：＜1mm
探针曲率半径：0.7μm，2μm，12.5μm
探针压力：1-15mg重性：5Å@1μm标样
地址：安徽省合肥市中国科学技术大学西区微纳研究与制造中心
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