主要功能：

该套清洗系统包含SPM清洗以及甩干机。其中HCT-10化学操作台主要用于MEMS领域中半导体材料的RCA清洗等工艺。

技术指标：

使用药液：SPM、SC1、SC2、BOE、HF等；

加热温度：

SPM: Rt～140℃±2℃；SC1: SC2 Rt～90℃±2℃；BOE: RT～23℃±0.5℃；

晶圆兼容尺寸：2/3/4/6 英寸；超声功能：

40kHz /80kHz，最大功率500W；兆声功能：950kHz，最大功率900W；

循环搅拌和过滤功能、气泡和喷淋功能、高低液位检测功能、快排和溢流功能、计时功能、自清洗功能。