品牌型号：普特勒电气科技，PTL - VM500

主要功能：

通过在反应腔内布置的电极之间产生辉光放电现象，使得工艺气体被电离成为带电等离子体，等离子体在电磁场内空间运动，并轰击被处理物体表面，从而达到表面处理，清洗和刻蚀的效果。

技术指标：

射频源功率：300W工艺气体配置：O2

流量设定范围：工艺气体1（0~60mL/min）