姓名:彭金兰 电话:63606372-8013
房间:909 邮箱:jinlanp@ustc.edu.cn
职称/职务:工程师、镀膜组
主要职责:

详细介绍:


学习工作经历:

2005.9-2012.7重庆大学 化学专业 硕士研究生

2012.7-2013.6三颐半导体外延部 工程师

2013.6至今 中科大微纳中心 工程师


技术专长:

薄膜生长及特性研究(氮化硅,氮化钛等),原位芯片开发与应用


技术成果:

闪速微量热芯片的研制  彭金兰等  传感器与微系统

在研项目

微尺度人才提升计划-氮化硅薄膜传感器工艺开发及应用;

中科院仪器改造项目-扫描电镜原位热电检测系统