详细介绍：

学习工作经历：

  2004-2008 安徽师范大学 材料化学

  2008-2011 中科院研究生院 材料物理与化学

  2011-2013 上海华虹宏力半导体制造有限公司 光刻制程工程师

  2013-至今 光刻设备工艺工程师

技术专长：

  熟悉微纳加工各个工艺段工艺，掌握多种图形化加工手段及相关表征测试方法

技术成果：

参与项目

《国产化电子束光刻胶的工艺开发及性能评估》微尺度国家研究中心“技术人才提升计划” 主持

《示范工程建设》中科院战略性先导科技专项 参与

《高性能量子密钥分发关键技术研究》国家重点研发计划 参与

获奖信息

2015年 中国科学技术大学公共支撑体系先进个人

2023年 中国科学技术大学公共实验中心技术能手奖