姓名:陈琳 电话:63606372-8031
房间:909 邮箱:chenlina@ustc.edu.cn
职称/职务:工程师、刻蚀组
主要职责:

详细介绍:


学习工作经历:

2009年9月至2013年7月,安徽大学应用物理专业,学士

2013年9月至2016年7月 中国科学技术大学核科学与技术专业,硕士

2016年7月至2019年11月 合肥鑫晟光电科技有限公司,LCD Array工艺开发高级研究员

2019年11月至今 中国科学技术大学微纳研究与制造中心,工艺工程师


技术专长:

硅基磁性金属硬质掩膜研发,微纳加工刻蚀工艺


技术成果:

论文

1、Lin C, Xiuxia W, Yu W, Chenggang Z. A Magnetic Metal Hard Mask on Silicon Substrate for Direct Patterning Ultra-High-Resolution OLED Displays[J]. Micromachines, 2022, 13(7):997

2、Lin C, Hu F, Duan H, et al. Intrinsic ferromagnetic coupling in Co3O4 quantum dots activatedby graphene hybridization[J]. Applied Physics Letters, 2016, 108(25):1929.

3、陈琳, 胡凤春, 谈浩,等. 共掺杂(Cr,Cu,Li)调控Co原子在Co掺杂的ZnO磁性半导体中的分布[J]. 中国科学技术大学学报, 2016(10):6.

4、彭金兰, 周典法, 王秀霞, 陈琳, 魏钰, 周成刚. 闪速微量热芯片的研制[J]. 传感器与微系统杂志, DOI:10.13873/J.1000-9787(2023)03-0076-03

5、Huang J Y, Liang P J, Zheng L, et al. Stark tuning of telecom single-photon emitters based on a single Er3+[J]. Chinese Physics Letters, 2023.(致谢)

专利

1、薄膜晶体管及其制备方法和阵列基板[P]. 发明人:陈琳、钱海蛟、杨成绍、栾梦雨 专利号:ZL201711027663.2 授权日期: 2020-07-03

2、制备多晶硅薄膜的方法、阵列基板、显示面板[P]. 发明人:陈琳、马涛、唐新阳、杨成绍 专利号:ZL201910110957.4 授权日期: 2021-10-01

3、一种阵列基板和车载显示装置[P]. 发明人:陈琳、杨成绍、马涛、王登峰、唐文浩 专利号:ZL201910865107.5授权日期: 2022-04-05

4、掩膜版及其制作方法[P]. 发明人:陈琳、周成刚、魏钰、王秀霞 专利号:ZL202010559376.1 授权日期:2022-9-30

5、一种喷液量控制系统及其控制方法和喷墨打印装置[P]. 发明人:栾梦雨、胡友元、吴新风、陈琳 专利号:ZL201710731079.9 授权日期:2020-1-7

6、薄膜晶体管、栅极驱动电路、显示基板和显示装置[P]. 发明人:余巨峰、韩领、马涛、杨成绍、陈琳 专利号:ZL201922106072.5 授权日期:2020-5-15

7、Micro LED巨量转移方法及其封装结构、显示装置[P]. 发明人:王登峰、杨海鹏、芮洲、周茂秀、陈琳 专利号:ZL201910331735.5 授权日期:2020-11-10

8、薄膜晶体管及其制造方法、柔性显示屏及显示装置[P]. 发明人:栾梦雨、彭裕清、李菲、陈琳 专利号:ZL201810240087.8 授权日期:2021-3-26

9、一种采用金属辅助湿法刻蚀制备硅基微针的制备方法及其应用[P]. 发明人:周成刚、马圆圆、魏钰、陈琳 专利号:ZL202011238936.X 授权日期:2022-8-9

获奖情况

2021年度合肥大型仪器区域中心先进机组良好奖(离子刻蚀机)

2021年度合肥大型仪器区域中心先进机组进步奖(反应离子金属刻蚀系统)