详细介绍：

学习工作经历:

1997-09至2002-06, 中国科学技术大学, 机械设计制造及其自动化, 学士

2002-09至2007-06, 中国科学技术大学, 测试计量技术与仪器, 博士

2007-08至2010-07, 上海科学院, 集成电路制造装备研究中心, 系统工程师/常务副主任

2010-08至今, 中国科学技术大学, 微纳研究与制造中心, 高级工程师/副主任

技术专长:

微纳加工设备开发、微纳米加工检测技术与微电子、光电子、生命医疗等学科交叉领域应用

技术成果：

1.Inner-paddled atomic force microscopy cantilever for rapid mechanical mapping, Sensors and Actuators A: Physical,2023,359:114488;

2.Research and fabrication of flash micro-thermal chip,Transducer and Microsystem Technologies,2023,42（3）:76

3.A Magnetic Metal Hard Mask on Silicon Substrate for Direct Patterning Ultra-High-Resolution OLED Displays, Micromachines,2022,13(7):997;

4.Thermal noise in contact atomic force microscopy, Journal of Applied Physics,2021,129(23):234303;

5.Controllable Micro/Nano Structure Surface Fabricated by Femtosecond Laser and Its Applications, Laser& Optoelectronics Progress,2020，57（11）：111406

6.Optimizing photon sieves to approach Fresnel diffraction limit via pixel-based inverse lithography, J.Vac.Sci.Technol.B 29,041002(2011);

7.Alignment measurement of two-dimensional zero reference marks, Precision Engineering 30(2006) 238–241

8.一种精子分选装置, 2021-04-23, 中国, CN201910923820.0 (专利)

9.一种采用金属辅助湿法刻蚀制备硅基微针的制备方法及其应用,2022-08-09, 中国, CN202011238936.X 

10.一种用于血糖监测的普鲁士蓝微针电极、其制备方法、血糖监测贴片及其制备方法, 2021-08-13, 中国, CN201910888655.X

11.一种高精度硅基掩模版及其制备方法, 2022-12-30, 中国, CN202010279275.9

12.掩模版及其制作方法, 2022-9-30, 中国,ZL202010559376.1