姓名:吴春晓 电话:
房间:909 邮箱:wx7@ustc.edu.cn
职称/职务:工程师、光刻组
主要职责:负责光刻组设备维护,用户代工及工艺开发等。

详细介绍:


学习工作经历:

  2023.05-至今  中国科学技术大学微纳研究与制造中心工程师

  2020.07-2023.04 合肥芯碁微电子装备股份有限公司激光直写光刻设备系统工程师

  2015.09-2020.07 中国科学技术大学物理化学博士学位

  2011.09-2015.06 山东理工大学光信息科学与技术学士学位


技术专长:

Labview


技术成果:

[1] C.X. Wu, J. Hu, M. He, Y.Zhi and S.X. Tian, Ion momentum imaging study of the ion-molecule reaction Ar+ + O2 → Ar + O2+. Physical Chemistry Chemical Physics, 2020,22,4640

[2] C.X. Wu, J. Hu, M.M. He, and S.X. Tian, Ion Momentum Imaging Study of the IonMolecule Charge Exchange Reaction of Ar+ + CO2. The Journal of Physical Chemistry A, 2019, 123, 8536(cover paper)

[3] J. Hu, C.X. Wu and S.X. Tian, Note: A well-confined pulsed low-energy ion beam: Test experiments of Ar+. Review of Scientific Instruments, 2018. 89(6):066104.

[4] J.Hu,C.X. Wu, Y.Y. Zhi, J.C. Xie, M.M. He, and S.X. Tian, Stereodynamics Observed in the Reactive Collisions of Low-Energy Ar+ with Randomly Oriented O2. The Journal of Physical Chemistry Letters, 2021,12,1346

[5] J.Hu, C.X. Wu, Y.S. Ma, and S.X. Tian Collision-Energy Dependence of the IonMolecule Charge Exchange Reaction Ar+ + NO, The Journal of Physical Chemistry A, 2018, 122, 9171

[6] 激光直写光刻机和自动聚焦控制方法,专利号:202211633554.6,受理(授权)时间:2022.12.19

[7] 曝光系统和曝光机,专利号:202220988421.X,受理(授权)时间,2022.08.05

[8] 一种基于DMD的倾斜式高速扫描的3D灰度曝光方法,专利号: CN202310737131.7,受理(授权)时间:2023.06.19

在研项目及获奖情况:

2021年合肥市博士后科研活动经费50万元