主要功能：

飞秒激光具有极短的脉冲宽度，较宽的光谱范围以及极高的瞬时峰值功率，相较于长脉冲激光（纳秒、皮秒激光），飞秒激光的加工具有阈值效应明显、热效应弱、溅射物少、加工精度高等特点。飞秒激光以其“冷加工”的先进技术、光子非线性效应、突破衍射极限等特质可实现对很多材料由微纳到宏观尺度复杂三维结构的精密加工，在精密机械、微纳电子、微纳光学、表面工程、生物医学等领域具广泛的应用。

技术指标：

加工方式：具备增材制造和减材制造两种方式

中心波长： 1033+/-5 nm

输出波长： 1028nm、514nm （2H）

最大输出功率： 20W @10-1000 kHz

脉冲宽度： <190 fs - 10 ps

最大脉冲能量： >2mJ @ 1-10 kHz

脉冲能量稳定性： <0.5% rms over 24h

重频频率：1-1000kHz

光束质量：<1.3

位移台行程：200mm*200mm*60mm