湿法刻蚀清洗安全规定(2025版)

Author:黄涛Date:2025-08-29Views:10

为保证刻蚀清洗区的整洁有序,确保人员和环境的安全,特制定以下安全管理规定

1.用户自行进行刻蚀或清洗操作时,需提前找好化学应急响应同伴,化学应急响应同伴需有湿法操作权限,coral预约设备时必须登录化学应急响应同伴账号,并经对方审核同意后方可开展实验,化学应急响应同伴需要在实验过程中全程陪同。

2.刻蚀或清洗操作前,必须穿戴完整的个人防护(PPE),包括酸碱防护手套、围裙、面罩,不允许穿戴PPE离开刻蚀清洗区(如去使用显微镜等);

3.刻蚀或清洗操作开始时,需规范贴好标签,旁边放置“危险警示牌”。不用水浴锅加热的情况,中途可短暂离开,不允许过夜使用;需要水浴锅加热的情况,温度限定不得超过80℃,加热期间实验人员需要全程在现场,中途不得离开,不得过夜使用;

4.刻蚀或清洗操作时,要节约使用化学药品和无尘纸等耗材。要选用适合的器皿,不得用太大的器皿清洗小的样品。化学药品用量参考:液面盖过样品不要超过1cm;

5.使用氢氟酸(HF)、氟化铵(NH4F)或(BOE)等含有氟离子的化学药品时,必须用聚四氟乙烯器皿,禁止用玻璃器皿;

6.刻蚀清洗操作时,若不慎把大量化学药品洒在操作台面或地面,应立即铺上吸酸棉,并及时通知刻蚀组工程师。BOE 或 HF 灼伤眼睛或皮肤,立即用六氟灵冲洗,其他酸/碱灼伤眼睛或皮肤,立即用敌腐特灵冲洗,一瓶溶液保证冲洗3分钟,而后立即就医;

7.刻蚀清洗操作结束后,使用过的公共器皿必须清洗干净,放回指定位置;

8.刻蚀清洗操作结束后,清理操作台面,保证台面干燥,不能有水或其他液体留在台面上,检查通风门、灯、水浴锅的开关电源是否关闭,并从插座中拔出插头;禁止在清洗台上遗留任何废弃物;

9.刻蚀清洗操作结束后,使用过的酸碱防护手套脱掉丢至PPE专用垃圾桶;面罩使用如有接触到化学品,也需要用水冲洗干净并用无尘纸擦干;围裙使用过程中如有喷溅上化学药品,请快速脱下,丢至PPE专用垃圾桶。总的原则是避免化学药品残留在防护用品上,影响他人安全及使用,PPE使用完毕后整齐放回指定位置;

10.刻蚀清洗操作结束后,危险警示牌放回指定位置;

11.设备disable时请选择具体实验内容(KOH/ BOE/氢氟酸/浓硫酸/磷酸/盐酸/硝酸/金刻蚀液)。

12.用户如有自己的个人化学药品需要暂存,需向化学品管理员申请带入并好标识:化药名称、负责人及联系电话、有效期等,超过有效期后仍暂存请至少提前三个工作日申请续延,否则平台将视为废液过期处理;

13.未经许可的情况下,不得擅自携带化学药品进出超净间;

14.未通过平台规定的培训和考核授权的人员不得擅自使用刻蚀清洗设备;

15.用户在取得湿法授权前,需签署安全承诺书,同时加入湿法授权用户群。自行使用危化品时,提前一天工作日下班前在群里提出试剂使用申请,否则试剂无法及时补充,可能无法使用。