通风橱是微纳研究与制造中心重要的工艺设备之一，为了规范通风橱区域的使用，规定如下：
一、 系统登录和退出
进入通风橱区域，使用通风橱，应当先在通风橱管理系统刷卡登录，实验完全结束，清理台面后，方可刷卡退出。
二、 货架分区
1. 货架进行分区，包括无尘纸、无尘布、锡箔纸、一次性吸管、玻璃器皿等。
2. 请按照货架分区标签分类取用物品，使用完毕后，按照分类标签放回对应分区。
3. 每日巡检人员按照消耗量，补充对应耗材。
三、 通风橱使用
1. 通风橱仅限于使用样品清洗，光刻显影、去胶，金属lift-off，刻蚀去胶等中心准入的操作。
2. 通风橱仅限于使用丙酮、IPA、乙醇、NMP、二甲苯、TMAH、MIBK、四氢呋喃、乙酸乙酯等中心准入的化学品（中心标签），不包括中心的列入危险化学品的试剂。
3. 用户如有申领的试剂需要暂存，需向安全管理员申请带入并贴好标识：试剂名称、负责人及联系电话、有效期等，有效期结束如有需要再申请续延，否则平台将当成废液过期处理。
4. 取用试剂后，试剂瓶必须放回通风橱下柜对应标签区域。
5. 剥离等当日不能清理的样品需统一放在超声清洗通风橱内。
6. 每日巡检人员按照试剂消耗量，补充对应耗材。
四、 玻璃器皿
1. 刻蚀、剥离或者清洗操作时，要选用合适大小的器皿，不得用太大的器皿装小的样品，避免试剂浪费。
具体对应规格如下：
2寸以下样品60mm；2寸-4寸以下100mm；
4寸样品 125mm；6寸样品 180mm；
8寸样品 230mm；
2. 所使用的器皿需要使用标签打印机打印统一格式的标签，标明内容（化学品名称、配制日期、有效期、配制人及联系方式）。
3. 试剂用量参考为液面不要超过样品表面1cm。
4. 器皿中的溶液，间隔1小时以上不再使用的，需要及时处理，腾出器皿及通风橱空间给其他人使用。
5. 使用后，需使用通风橱内的纯水清洗干净，然后放回货架对应分区处。
6. 需要长期存放（有效期非本日）集中存放在超长时间样品区。
7. 当日有效试剂，请及时清理；非当日有效试剂，发现器皿中无样品，其他用户可以使用该器皿；对于非当日有效占用器皿无样品的行为，属于占用设备而不使用行为，按照中心对应处罚条例理。
8. 破碎器皿等尖锐物用无尘纸包裹后，放入货淋室垃圾桶。
五、 无尘纸和无尘布
1. 无尘纸或无尘布使用本着不浪费的原则，一般一次使用不要超过三张。
2. 使用完毕后，用废弃无尘纸或无尘布清理通风橱台面产生的水渍或其他污渍，清理完毕后丢入垃圾桶。
六、 废液
1. 废液需倒入对应的废液桶里，倒入过程中，需要小心，避免液体溅洒。
2. 废液桶根据液位，超过2/3处需更换，由每日巡检人员更换。
七、 水浴锅和超声机
1. 水浴锅、超声机使用前，请确保有合适的水位，液面不低于2cm。若水位缺少，由使用水浴或者超声机使用人员补充。
2. 器皿高度（含提篮杆）不得高于水浴锅上盖高度。
3. 使用超声机时，需要关闭通风橱拉门至建议位置标识处，避免全开，导致异味扩散至通风橱外部空间。