姓名:陈陈 电话:63606397
房间:904 邮箱:cc5425
职称/职务:光刻组工程师
主要职责:负责光刻组工艺支撑工作,辅助管理光刻组设备。

学习工作经历:

2013.9-2017.7 辽宁石油化工大学   电气工程及其自动化  学士

2017.9-2022.6 中国科学技术大学   电子科学与技术     博士

2022.7-2025.7 海思技术有限公司   高级工程师(负责fin loop SADP&SAQP工艺研发)

2025.9-至今  微纳研究与制造中心  工艺工程师(负责光刻组工艺开发与设备维护)

论文专利或标准:

论文:

CHEN Chen, HAN Zhao, ZHOU Xuanze, ZHAO Xiaolong, SUN Haiding, XU Guangwei, LONG Shibing. Study on Single Crystal β-Ga2O3 Thin Films Grown by MOCVD Homoepitaxy[J]. CHINESE JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY, 2023, 43(3): 202-209. DOI: 10.13922/j.cnki.cjvst.202204021(一作)

C. Chen et al., High-Performance β-Ga2O3 Solar-Blind Photodetector With Extremely Low Working Voltage, in IEEE Electron Device Letters, vol. 42, no. 10, pp. 1492-1495, Oct. 2021, doi: 10.1109/LED.2021.3108190.(一作)

专利:

CN110551618B 一种精子分选装置 (授权并转让合肥晶优生物科技有限公司)

CN112010259A 一种用于转移器官芯片中多孔PDMS薄膜的方法(授权)