主要功能：
微波等离子化学气相沉积技术（MPCVD), 通过等离子增加前驱体的反应速率，降低反应温度。适合制备面积大、均匀性好、纯度高、结晶形态好的高质量的金刚石单晶和多晶薄膜。
技术指标：
最大功率： 6 kW
反应温度： 1100℃
最大样品尺寸： 2寸
反应气压： 140 mtorr