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周成刚
邮箱:cgzhou
房间:903
电话:0551-63607217
党支部书记、中心主任
岗位职责:全面主持中心工作。
仪器管理:
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汪林俊
邮箱:wanglj
房间:907
电话:0551-63607807
支部纪检委员、主任助理
岗位职责:工艺技术开发,主管中心宣传工作。
仪器管理:
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李伟
邮箱:lwei1208
房间:909
电话:63606361-8023
党支部副书记、封测组组长
岗位职责:总体负责封测组设备和工艺
仪器管理:聚焦离子束、氦离子显微镜、X-RAY显微镜、SNOM显微镜、冷场扫描电镜、原子力显微镜、探针测试系统、晶圆划片机、引线键合等
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刘文
邮箱:liuwen
房间:909
电话:63606361-8012
光刻组组长
岗位职责:总体负责光刻组设备和工艺,主要包括日常维护、保养以及新工艺开发;样品代加工服务,支撑用户科研工作;新设备调研采购以及安装验收。
仪器管理:电子束光刻机、紫外光刻机、分步投影光刻机、无掩膜光刻机、匀胶热板等
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王秀霞
邮箱:wxiuxia
房间:909
电话:63606361-8007
刻蚀组组长
岗位职责:总体负责刻蚀组设备和工艺
仪器管理:ICP、RIE、HF刻蚀、台阶仪、湿法刻蚀、湿法清洗、去胶机等
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魏钰
邮箱:weiyu558
房间:909
电话:63606361-8021
镀膜组组长
岗位职责:总体负责镀膜组设备和工艺
仪器管理:磁控溅射镀膜、电子束蒸发镀膜、原子层沉积、化学气相沉积、离子注入、椭偏仪等
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项本富
邮箱:xiangbf
房间:909
电话:63606361-8009
厂务安全主管
岗位职责:全面负责厂务系统及安全方面的工作
仪器管理:暖通、纯水、PCW、自动等
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黄涛
邮箱:ht1111
房间:901
电话:63606519
综合办主管
岗位职责:负责综合办公室日常业务。
仪器管理:负责综合办公室日常业务。
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彭金兰
邮箱:jinlanp
房间:908
电话:63606372-8013
工艺开发
岗位职责:
仪器管理:工艺开发及用户代工。
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李亚萍
邮箱:liyaping
房间:908
电话:63606372-8031
工艺开发
岗位职责:工艺开发和用户代工。
仪器管理:
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吴春晓
邮箱:wx7
房间:908
电话:63606372-8037
工艺开发
岗位职责:用户代工及工艺开发。
仪器管理:用户代工及工艺开发。
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李文娟
邮箱:wjli
房间:908
电话:63606372-8011
光刻组
岗位职责:负责光刻组设备维护,用户代工等。
仪器管理:负责光刻组设备维护,用户代工等。
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叶阳
邮箱:yy1989
房间:904
电话:63606397-8032
光刻组
岗位职责:负责光刻组设备维护,用户代工及工艺开发等。
仪器管理:辅助负责光刻组仪器管理
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吴硕
邮箱:swu
房间:902
电话:636061748-8018
光刻组
岗位职责:负责光刻组设备维护,用户代工等。
仪器管理:辅助负责光刻组仪器管理
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何逸昭
邮箱:yzhe0723
房间:902
电话:636061748-8027
镀膜组
岗位职责:辅助负责镀膜组仪器管理
仪器管理:辅助负责镀膜组仪器管理
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徐坤
邮箱:xu1102
房间:902
电话:63601748-8019
镀膜组
岗位职责:镀膜组代工、设备维护,辅助负责镀膜组仪器管理
仪器管理:辅助负责镀膜组仪器管理
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马骏
邮箱:maj
房间:902
电话:63601748-8039
镀膜组
岗位职责:辅助负责镀膜组仪器管理
仪器管理:辅助负责镀膜组仪器管理
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孙剑
邮箱:sjian
房间:902
电话:63601748-8022
刻蚀组
岗位职责:辅助负责刻蚀组仪器管理
仪器管理:辅助负责刻蚀组仪器管理
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孙丹丹
邮箱:sdd1133
房间:902
电话:63601748-8029
刻蚀组
岗位职责:用户代工及辅助刻蚀组设备管理
仪器管理:用户代工及辅助刻蚀组设备管理
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唐驰
邮箱:tangchi
房间:902
电话:63601748-8038
封测组
岗位职责:辅助负责封测组仪器管理。
仪器管理:
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