光刻

电子束光刻 E-beam Lithography
型号：JEOL 6300FS 房间：一楼洁净间 管理员：刘文查看更多
电子束光刻30kV E-Beam Lithography
型号：Raith Pioneer two 房间：一楼洁净间 管理员：刘文查看更多
分步投影光刻机 Stepper
型号：NSR2005I10C 房间：一楼洁净间 管理员：刘文查看更多
接触式紫外光刻机 Optical Aligner
型号：MABA6 房间：一楼洁净间 管理员：刘文查看更多
匀胶机和热板
型号：SUSS等 房间：一楼洁净间 管理员： 查看更多
纳米压印系统 Nano Imprint Lithography
型号：Obducat Eitre6 房间：一楼洁净间 管理员：刘文查看更多
无掩膜光刻机 Maskless Lithography
型号：ATD1500 房间：一楼洁净间 管理员：刘文查看更多
低温显影机
型号：SC 100D 房间：一楼洁净间 管理员：刘文查看更多
HMDS烘箱 process oven
型号：MD-40 房间：一楼洁净间 管理员：刘文查看更多