主要功能：
探针扫过样品表面，电容式传感器将探针机械变化量转化为电信号，从而表征样品表面
形貌。主要用于样品台阶测量，表面应力表征。
技术指标：
扫描长度： 200mm
垂直测量范围： ＜327μm
探针压力： 0.5-50mg
样品尺寸： 最大 8 英寸
探针曲率半径： 2μm
重现性： 4Å@1μm标样