品牌型号： Zeiss， Xradia 520 Versa
主要功能：
X射线显微镜通过汇聚的X射线束照射并穿透样品，再利用闪烁体将X射线信号转换为光信
号，并通过不同的镜头进行光学放大，最后在CCD上成像。主要用于材料和结构在微米及纳米尺度的三维成像和研究。
技术指标：
空间分辨率： 700nm
电压范围： 30-160kV

最大功率：10kW
X射线源移动范围： 190mm
探测器像素数量：2048×2048

探测器移动范围：290mm
高精度4轴断层扫描马达样品台，360o旋转，承重15kg

可测样品直径：300mm；
辐射安全度: <1μS/hr