品牌型号： Nordson，Dage Quadra 7
主要功能：
在不破坏样品的条件下对样品内部进行分析和检测，如一般IC、包括3D IC、MEMS，甚
至到PCB、PCBA、电池、系统成品。
技术指标：
旋转范围: 360°
倾斜角度范围： +/- 70°
细节分辨率： 高于1μm
成像几何最大放大倍数： 2500X
2D最大样品尺寸:736 mm×580 mm
3D检测样品最大尺寸：130mm×130mm