中文名:聚焦离子束系统
英文名:Focused Ion Beam
所属机组:封测组
仪器型号:Helios NanoLab650
房间:地下洁净间
负责人:李伟


主要功能
利用电透镜将离子束聚焦成非常小尺寸的显微切割仪器。
技术指标
电子枪分辨率: 0.8nm@15kV
       0.9nm@1kV
离子枪加速电压: 500V-30kV
电子枪加速电压: 200V-30kV
样品台: XY:150 mm,piezo-driven
    Z:10mm motorized
    T:-10°to +60°
    R:n×360°,piezo-driven