品牌型号： Leica，ACE600
主要功能：
本设备可以提供喷碳和溅射两种工作模式。此外，系统配有膜厚晶振仪，可以对膜厚进行精确的控制。设备采用触摸屏控制，过程全自动操作。
技术指标：
薄膜沉积模式： 喷碳，以及溅射（Pt等）
系统真空度： 10－6mbar
溅射靶材直径： 54mm
碳丝蒸发最大功率： 700W
溅射电流： 15～150mA
工作距离： 30～100mm
样品台直径： 104mm，兼容24个SEM标样台
样品台倾斜角范围： ±60°
晶振仪厚度显示精度： 0.1nm
典型膜厚： 2 nm