主要功能：
冷场扫描电镜可进行微纳米结构和材料的形貌成像和成份高分辨表征。Mild Flash技术大
幅提升电子束流的稳定性。电子束配合图形发生器和束闸，还可以进行电子束光刻。
技术指标：
放大倍数： 低倍率模式20~2,000X；
　　　　　高倍率模式100~1,000,000X;
加速电压： 0.5~30kV；
　　　　　减速模式0.01~2kV
5轴马达台： XY移动范围50nm，旋转360°，倾斜-5°～70°
探头： BSE (LA,HA), SE(U,L),STEM(BF)
样品交换仓： 可以放置4英寸晶圆
分辨率 ： 0.8nm(15kVVacc ,WD4mm, 27万倍)