中文名:散射式近场光学显微镜
英文名:s-SNOM
所属机组:封测组
仪器型号:NeaSNOM 2nd generation
房间:地下洁净间
负责人:李伟


品牌型号NeaSNOM 2nd generation
主要功能
散射式近场光学显微镜是基于AFM系统的超高分辨光学显微成像系统。通过AFM探针针
尖散射并收集样品的近场光学信号,获得纳米级分辨率的样品表面形貌和光场成像。其分辨率与照明光源波长无关。
技术指标
分辨率: 15nm
光源: 可见光:633nm波长激光
中红外: 9.3-10.8μ m可调谐波长激光
扫描范围: x/y:100μm,精确度:0.4nm;
     z:3μm,精确度0.2nm
样品尺寸要求: 长宽<40mm,高度<5 mm