Author：系统管理员Date：2021-03-03Views：12
各位用户：
微纳中心电子束光刻机（JEOL，6300FS）现已恢复正常使用。目前为模式3，3月15日起切换为模式6，请知晓。给大家带来不便，谢谢理解。请各位用户根据需求安排实验计划。
微纳研究与制造中心
2021年3月3日
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